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semiconductor

Product Detail Information

   
 
  
MBB-730 CVD PROCESS
 - DCS-Wsix
 - BLK-W
 - ClF3 Gas Cleaning System

MBB-730 Module
 - DCS Process Module
 - BLK-W Process Module
 - Transfer Module
 - Loadlock Module
 - Load Module
 - Cassette Module

MBB Option
 - Exhaust Switching Box
 - Gas Regulator Box
 - High Through Put KIT